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壓電馬達(dá)線性平移臺(tái)

簡(jiǎn)要描述:U-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺(tái)擁有*的特點(diǎn)。該平移臺(tái)是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺(tái)。
該平移臺(tái)采用無(wú)聲的超聲波馬達(dá),超聲波馬達(dá)是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子,在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng),促動(dòng)器的變形使耦合元件相對(duì)于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng),每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米,高頻的信號(hào),可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺(tái)的Z大速度可達(dá)到400m

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2021-06-02
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納米級(jí)高速大行程壓電馬達(dá)平移臺(tái)

 

AU-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺(tái)擁有*的特點(diǎn)。該平移臺(tái)是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺(tái)。

該平移臺(tái)采用無(wú)聲的超聲波馬達(dá),超聲波馬達(dá)是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子,在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng),促動(dòng)器的變形使耦合元件相對(duì)于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng),每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米,高頻的信號(hào),可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺(tái)的zui大速度可達(dá)到400mm/s。

理論上壓電馬達(dá)平移臺(tái)的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長(zhǎng)度,因此AU-XLS系列位移平臺(tái)可提供的行程范圍可達(dá)94mm,采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制,使位移平臺(tái)的位移分辨率可達(dá)到78nm,在滿足大行程的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預(yù)加力,因此斷電之后平移臺(tái)會(huì)有自鎖功能,使位移平臺(tái)依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量,提高了位移平臺(tái)的精度。

此外,由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),因此該平移臺(tái)可以組成多維位移平臺(tái),并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái)。

 

主要特點(diǎn):

l  大行程 (92mm)

l  高精度(78nm)

l  高速度(400mm/s

l  支持?jǐn)嚯娮枣i

l  可在真空和非磁環(huán)境

主要應(yīng)用:

l  光電子學(xué)

l  掃描電子顯微鏡

l  半導(dǎo)體生產(chǎn)

l  醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)

l  生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)

l  顯微鏡和計(jì)量學(xué)

 

產(chǎn)品參數(shù):

 

AU-XLS

Minimum travel range

19 mm

Maximum travel range:

92 mm

Load capacity

< 1kg

Holding / driving force

~ 1N

Min. step size

500nm [standard encoder] / 78nm [precision   encoder]

Max. speed

400mm/s

Min. speed

1mm/s

Constant speed

+/- 1% at typical scan speed

Lifespan

> 100 km (typical)

 

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納米級(jí)高速大行程壓電馬達(dá)平移臺(tái)

 

AU-XLS系列壓電馬達(dá)線性平移臺(tái)擁有*的特點(diǎn)。該平移臺(tái)是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達(dá)位移平臺(tái)。

該平移臺(tái)采用無(wú)聲的超聲波馬達(dá),超聲波馬達(dá)是通過(guò)一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子,在高頻電流下壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動(dòng),促動(dòng)器的變形使耦合元件相對(duì)于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng),每個(gè)循環(huán)的進(jìn)給為幾個(gè)納米,高頻的信號(hào),可以使轉(zhuǎn)子高速的運(yùn)動(dòng)。因此AU-XLS系列壓電馬達(dá)平移臺(tái)的zui大速度可達(dá)到400mm/s。

理論上壓電馬達(dá)平移臺(tái)的行程僅取決于轉(zhuǎn)子的長(zhǎng)度,因此AU-XLS系列位移平臺(tái)可提供的行程范圍可達(dá)94mm,采用線性編碼器位置傳感器閉環(huán)控制,使位移平臺(tái)的位移分辨率可達(dá)到78nm,在滿足大行程的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了高的精度。由于壓電陶瓷已經(jīng)加載了預(yù)加力,因此斷電之后平移臺(tái)會(huì)有自鎖功能,使位移平臺(tái)依然保持在原位。這樣可以減少了能源的消耗和產(chǎn)熱量,提高了位移平臺(tái)的精度。

此外,由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),因此該平移臺(tái)可以組成多維位移平臺(tái),并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái)。

 

主要特點(diǎn):

l  大行程 (92mm)

l  高精度(78nm)

l  高速度(400mm/s

l  支持?jǐn)嚯娮枣i

l  可在真空和非磁環(huán)境

主要應(yīng)用:

l  光電子學(xué)

l  掃描電子顯微鏡

l  半導(dǎo)體生產(chǎn)

l  醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)

l  生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)

l  顯微鏡和計(jì)量學(xué)

 

產(chǎn)品參數(shù):

 

AU-XLS

Minimum travel range

19 mm

Maximum travel range:

92 mm

Load capacity

< 1kg

Holding / driving force

~ 1N

Min. step size

500nm [standard encoder] / 78nm [precision   encoder]

Max. speed

400mm/s

Min. speed

1mm/s

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+/- 1% at typical scan speed

Lifespan

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