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193nmDUV深紫外單縱模固體激光器

簡(jiǎn)要描述:193nmDUV深紫外單縱模固體激光器,光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該193nm激光器的中心波長(zhǎng)可在185和194 nm之間的范圍內(nèi)定制,訂購時(shí)可配置為固定波長(zhǎng)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-11-18
  • 訪  問  量:110
詳細(xì)介紹
品牌昊量光電產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

德國(guó)xiton photonics公司是二極管泵浦固體激光器非線性光學(xué)器件的專家。可以開發(fā)和制造幾乎任何所需波長(zhǎng)的可靠激光系統(tǒng),重點(diǎn)開發(fā)193nm的DUV深紫外固體激光器,總部位于德國(guó),擁有20多年的激光器研發(fā)經(jīng)驗(yàn)。


193nmDUV深紫外單縱模固體激光器:        

        IXION 193 SLM是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng),適用于光學(xué)計(jì)量、193納米光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器帶寬控制等應(yīng)用。光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該193nm激光器中心波長(zhǎng)可在185和194 nm之間的范圍內(nèi)定制,訂購時(shí)可配置為固定波長(zhǎng)。



        

193nmDUV深紫外單縱模固體激光器參數(shù):




Wavelength/波長(zhǎng)

193.368 nm

Average power/平均功率

10 mW

Pulse duration/脈寬

typ 8-12 ns

Energy per pulse/單脈沖能量

1.6 µJ

Repetition rate/重復(fù)頻率

1-15 kHz

beam quality/光斑質(zhì)量

M2 < 1.6

Spectral bandwith/譜寬

< 80 MHz

Spectral tunability/光譜可調(diào)諧范圍

> 10 pm

coherence length/相干長(zhǎng)度

> 2 m

Pulse to pulse stab./脈沖穩(wěn)定性

σ < 2.5 %

產(chǎn)品特點(diǎn):

波長(zhǎng)穩(wěn)定性


長(zhǎng)時(shí)間功率穩(wěn)定性


光斑質(zhì)量


光譜特性


產(chǎn)品應(yīng)用:



  • 193 nm 計(jì)量/193 nm metrology

  • 光譜儀校準(zhǔn)/Spectrometer calibration

  • 干涉度量/Interferometry

  • 準(zhǔn)分子激光器種子源/injection seeding of excimer lasers


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