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266 nm紫外單縱模脈沖激光器

簡要描述:266 nm紫外單縱模脈沖激光器,是一款單縱模全固態(tài)激光系統(tǒng),適用于光學(xué)計(jì)量、266納米光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器帶寬控制等應(yīng)用。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2025-11-19
  • 訪  問  量:138
詳細(xì)介紹
品牌昊量光電產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合

266 nm紫外單縱模脈沖激光器

德國xiton photonics公司是二極管泵浦固體激光器非線性光學(xué)器件的專家。可以開發(fā)和制造幾乎任何所需波長的可靠激光系統(tǒng),擁有20多年的激光器研發(fā)經(jīng)驗(yàn),重點(diǎn)開發(fā)深紫外和紫外激光器。        

        IXION SLM 266是一款單縱模全固態(tài)激光系統(tǒng),適用于光學(xué)計(jì)量、266納米光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器帶寬控制等應(yīng)用。光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該激光器在M2< 1.7的衍射受限光束中提供持續(xù)時(shí)間為8 - 10ns的短輸出脈沖,重復(fù)頻率在1至15 kHz之間。在266nm處,平均輸出功率高達(dá)500 mw,具有超穩(wěn)定的脈沖走線和超過1.8 m的高相干長度,這是傳統(tǒng)激光器無法實(shí)現(xiàn)的。



        

266 nm紫外單縱模脈沖激光器產(chǎn)品參數(shù):


Wavelength/波長

266 nm

Average power/平均功率

500mW

Pulse duration/脈寬

typ 8-10 ns

Energy per pulse/單脈沖能量

50µJ

Repetition rate/重復(fù)頻率

1-15 kHz

beam quality/光斑質(zhì)量

M2 < 1.7

Spectral bandwith/譜寬

< 80 MHz

紫外單縱模脈沖激光器產(chǎn)品特點(diǎn):


典型性能




光斑質(zhì)量 

 

紫外單縱模脈沖激光器產(chǎn)品應(yīng)用:

  •  光譜儀校準(zhǔn)

  • 光刻

  • 干涉測量

  • 晶圓檢測

  • 全息測量

  • 光致發(fā)光

  • 拉曼光譜

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